技術編號：7355045
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。一種模塊化動鐵式六自由度磁浮運動平臺，主要應用于半導體光刻設備中。該運動平臺包括基座、至少一個磁浮平面電機模塊和一個體感控制器；每個磁浮平面電機模塊由一個磁浮平面電機動子和一個磁浮平面電機定子組成，可實現(xiàn)微動工作臺在水平面內(nèi)沿X方向、沿Y方向和繞Z軸旋轉。本發(fā)明與現(xiàn)有技術相比，由于線圈經(jīng)過優(yōu)化，不同規(guī)格的線圈能夠適應一定的推力區(qū)間，因此可根據(jù)不同的承載力要求進行組合，具有結構簡單，高效集成，節(jié)約生產(chǎn)成本等特點。專利說明一種模塊化動鐵式六自由度磁浮運動平臺[...
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