技術(shù)編號：7338443
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種控制裝置、一種微系統(tǒng)裝置和一種用于控制微機械致動器的方法。背景技術(shù)一般而言，微系統(tǒng)、以下也稱作 MEMS(Micto-Electro-Mechanical-System 微機電系統(tǒng))包括一個或多個傳感器、微機械致動器和所屬的控制電子裝置，這些集成在載體襯底或芯片上。集成的控制電子裝置通?；蛘呤褂镁€性驅(qū)動器(Linear-Treiber)或者使用數(shù)字驅(qū)動器(Digital-Treiber)。Veljko Milanovid在2009年3月25日...
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