技術(shù)編號(hào)：7316543
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于一種基于行波方式工作的微型直線超聲馬達(dá)。 背景技術(shù)微馬達(dá)廣泛應(yīng)用于各種微機(jī)電系統(tǒng)MEMS中。在各種微馬達(dá)中，電磁型微馬達(dá)由于 其復(fù)雜的結(jié)構(gòu)限制了其進(jìn)一步微型化。利用集成電路制造工藝制造的靜電微型馬達(dá)無法產(chǎn) 生足夠的輸出功率。而超聲微馬達(dá)由于其小尺寸、大扭矩、高能量密度特性有利于裝置的微 型化而充滿前景。超聲微馬達(dá)是利用壓電陶瓷材料PZT或高分子PVDF薄膜材料的逆壓電 效應(yīng)，通過轉(zhuǎn)換壓電振子的超聲振動(dòng)形成驅(qū)動(dòng)能力，實(shí)現(xiàn)超聲波振動(dòng)能轉(zhuǎn)換成機(jī)械能...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。