技術(shù)編號：7314534
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般涉及用于供應(yīng)交流電的電源，尤其涉及用于電源的開關(guān)部分的保護(hù)電路。射頻(RF)能量被用于許多工業(yè)中，用于通過感應(yīng)加熱、介電加熱和等離子體激發(fā)處理材料。等離子體激發(fā)可以呈電感、電容、或?qū)嶋H電磁(EM)波、微波、或耦合的形式。提供RF能量的發(fā)生器利用許多電路拓?fù)?，其范圍從提供幾十瓦的一級A晶體管放大器到提供數(shù)千瓦的自振蕩管(電子管)發(fā)生器。半導(dǎo)體制造工業(yè)利用RF等離子體淀積和刻蝕微和亞微尺寸的膜。用于這種場合的一種典型的電源可以由電網(wǎng)頻率的變壓器/整流...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。