技術(shù)編號(hào)：7288965
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及駐極體微發(fā)電機(jī)的加工方法，特別是涉及加工基于無機(jī)駐極體的MEMS微發(fā)電機(jī)的方法。背景技術(shù) 微機(jī)電系統(tǒng)(以下簡(jiǎn)稱MEMS)是一個(gè)新興的多學(xué)科交叉的高科技領(lǐng)域，在促進(jìn)國民經(jīng)濟(jì)和生產(chǎn)力的發(fā)展，鞏固國家安全等方面表現(xiàn)出巨大的潛力。MEMS技術(shù)的應(yīng)用使得多種系統(tǒng)的微小型化成為可能，同時(shí)，與MEMS器件對(duì)應(yīng)的穩(wěn)定、高效和微型化能源供應(yīng)也成為一個(gè)技術(shù)挑戰(zhàn)。而傳統(tǒng)的能量供應(yīng)方式已經(jīng)難以滿足MEMS技術(shù)低成本、實(shí)用化和批量生產(chǎn)的要求，尤其對(duì)于一些植入式或者分布式M...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。