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一種光熱驅(qū)動微馬達(dá)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7285234

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本實用新型涉及一種光熱驅(qū)動微馬達(dá),用于微納米高速、小步距驅(qū)動。背景技術(shù)近年來,科學(xué)技術(shù)發(fā)展的一個重要趨勢是朝快速度、大容量和微型化方向飛速邁進(jìn)。其中尤以微/納米技術(shù)、微型機(jī)械技術(shù)、光學(xué)與光電子技術(shù)等的發(fā)展為主要代表。在許多特殊領(lǐng)域,需要采用特種性能的電機(jī)(或稱馬達(dá))作為動力源和運(yùn)動源。如在光學(xué)與精密機(jī)械系統(tǒng)中用于元器件的精確驅(qū)動和定位的馬達(dá),要求速度高、響應(yīng)快、盡可能小型化;在航天器和空間衛(wèi)星上采用的電機(jī),既要求力矩大、效率高,又要求重量輕、體積小、壽命長...
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