技術(shù)編號：7265347
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種吸附器、半導(dǎo)體器件觀察裝置、及半導(dǎo)體器件觀察方法。背景技術(shù)近年來，半導(dǎo)體器件的小型化正不斷進展。因此，提出有在為進行半導(dǎo)體器件的故障分析而觀察半導(dǎo)體器件時，使用固浸透鏡以提高分辨率(例如，參照專利文獻I)。專利文獻I中記載的故障分析裝置中，在用于載置形成有半導(dǎo)體器件的半導(dǎo)體晶圓的分析用板上，一體形成有大致半球狀的固浸透鏡?，F(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻I 日本特開2008-141207號公報發(fā)明內(nèi)容發(fā)明所欲解決的問題然而，在進行半導(dǎo)體器件的故障...
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