技術編號：7265307
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種在半導體、液晶顯示裝置或光盤等的制造工藝中，在基板的溫度或氣體供給等中使用的帶流路板的制造方法、帶流路板、溫度調節(jié)板、冷板及淋浴板。背景技術在半導體、液晶顯示裝置或光盤等的制造中的各種基板工藝中，使用調節(jié)基板溫度的溫度調節(jié)板(冷板等)或使用向基板供給具有規(guī)定成分的氣體的淋浴板。這些溫度調節(jié)板或淋浴板一般具有在鋁或鋁合金等金屬板的內部設有使熱介質或氣體流通的流路的構造(例如，參照專利文獻I 3)。這樣的帶流路板目前是通過如下方法制造的在金屬板主...
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