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多層低溫共燒陶瓷基板集成液冷循環(huán)通道的制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7264266

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本發(fā)明提出的一種,既能保證液冷循環(huán)通道不塌陷,又能解決燒結(jié)中不分層、不鼓包的制作方法。本發(fā)明通過(guò)下述技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)首先將若干低溫共燒陶瓷生瓷片分成三個(gè)層次,分別制出定位孔、導(dǎo)通孔、散熱孔和液冷循環(huán)通道,再將含天線單元的頂部生瓷片層進(jìn)行一體化疊層為頂部單元,將含液冷循環(huán)通道的中部生瓷片層和含TR組件單元的底部生瓷片層一體化層壓形成凹坑單元;把可揮發(fā)填充材料印刷到凹坑單元的凹坑內(nèi),并在凹坑單元表面上涂敷有機(jī)粘接劑,將頂部單元疊在凹坑單元上,采用低溫低壓方式形...
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