技術(shù)編號(hào)：7262824
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中對(duì)流體處理的，具體地說是一種半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中的流體脫泡裝置，包括緩沖容器、介質(zhì)容器、超聲波換能器、換能器控制部、總控制部；所述緩沖容器浸入介質(zhì)容器的介質(zhì)中，超聲波換能器安裝于介質(zhì)容器外壁，并與換能器控制部連接；換能器控制部與總控制部連接；其方法包括總控制部根據(jù)各檢測(cè)器的反饋信息控制超聲波換能器和各自動(dòng)閥使緩沖容器內(nèi)的流體完成脫泡處理。本發(fā)明可以不占用單獨(dú)時(shí)間進(jìn)行流體的脫泡，并且工作時(shí)緩沖容器內(nèi)壓力恒定，保證出液口的流量恒定，液體供...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。