技術編號：7260529
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明的有機物沉積裝置，用于沉積有機物，包括工藝腔室、第一輸送軌道、第二輸送軌道、至少一個掩模組合體、至少一個基板組合體及至少一個沉積源。所述第一輸送軌道及所述第二輸送軌道分別配置在所述工藝腔室的內(nèi)部，所述第二輸送軌道與所述第一輸送軌道隔開并配置在所述第一輸送軌道的上部。所述掩模組合體與所述第一輸送軌道結(jié)合并沿著所述第一輸送軌道輸送，所述基板組合體與基板及所述第二輸送軌道結(jié)合并沿著所述第二輸送軌道輸送。而且，所述沉積源配置在所述工藝腔室的內(nèi)部并向所述掩模組...
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