技術(shù)編號：7260436
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提供了一種等離子體處理腔室及其靜電夾盤，其中所述冷卻通道至少包括對應(yīng)于基片中間區(qū)域下方的第一冷卻通道和對應(yīng)于基片邊緣區(qū)域的第二冷卻通道，其中，所述第一冷卻通道和所述第二冷卻通道分別連接有第一冷卻液循環(huán)裝置和第二冷卻液循環(huán)裝置；所述加熱裝置包括對應(yīng)于基片中間區(qū)域下方的第一加熱裝置和對應(yīng)于基片邊緣區(qū)域的第二加熱裝置，所述第一加熱裝置和所述第二加熱裝置分別連接有第一電源和第二電源。本發(fā)明能夠提供均一的熱平衡系統(tǒng)，保證靜電夾盤和基片的溫度均一性。專利說明一種...
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