技術(shù)編號：7258760
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。描述了一種帶有窗的拋光墊、含有該拋光墊的系統(tǒng)，以及用以制造并使用該拋光墊的工藝。背景在制造現(xiàn)代半導(dǎo)體集成電路(IC)的工藝中，經(jīng)常需要將基板的外表面平坦化。舉例而言，可能需要平坦化以拋除導(dǎo)電填充層，直到下方層的頂表面暴露為止，在絕緣層的凸起圖案之間留下導(dǎo)電材料，以形成通孔、栓塞以及線路，這些通孔、栓塞以及線路在基板上的薄膜電路之間提供導(dǎo)電路徑。此外，可能需要平坦化來整平并打薄氧化物層，以提供適用于光刻法的平整表面。達(dá)成半導(dǎo)體基板平坦化或表面形貌移除的一種方...
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