技術(shù)編號:7257916
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是有關(guān)于一種。該非易失性記憶胞,包括基底、電荷儲存結(jié)構(gòu)以及穿隧介電層。其中基底中具有隔離結(jié)構(gòu),定義出主動區(qū)。電荷儲存結(jié)構(gòu)位于主動區(qū)上。電荷儲存結(jié)構(gòu)的底部寬度實質(zhì)上等于主動區(qū)的寬度,電荷儲存結(jié)構(gòu)的側(cè)壁與基底的上表面的第一夾角不同于隔離結(jié)構(gòu)的側(cè)壁與基底的上表面的第二夾角。穿隧介電層位于電荷儲存結(jié)構(gòu)與基底之間。穿隧介電層的下表面平坦,且穿隧介電層的上表面實質(zhì)上與基底的上表面平行。專利說明 [0001] 本發(fā)明涉及一種集成電路及其制造方法,特別是涉及一...
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