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二極管模組和其制作方法及光互連裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7257143

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一種二極管模組,包括半導(dǎo)體基底層、二極管外延層及光波導(dǎo)。該半導(dǎo)體基底層具有一表面,該表面包括依次相鄰設(shè)置的外延層生長(zhǎng)區(qū)、光波導(dǎo)固定區(qū)及光纖接入?yún)^(qū),該光纖接入?yún)^(qū)開(kāi)設(shè)有光纖收容溝槽,該光纖收容溝槽的延伸方向指向該光波導(dǎo)固定區(qū)。該二極管外延層形成于該外延層生長(zhǎng)區(qū),該二極管外延層包括沿遠(yuǎn)離該表面依次排列的半導(dǎo)體緩沖層和PN結(jié),該P(yáng)N結(jié)之間形成有多重量子井結(jié)構(gòu)層。該光波導(dǎo)形成于該光波導(dǎo)固定區(qū),該光波導(dǎo)其中一側(cè)面與該多重量子井結(jié)構(gòu)層一側(cè)面相對(duì)。本發(fā)明還涉及該二極管模組...
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