技術(shù)編號：7256585
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了一種形成多晶硅薄膜的方法以及一種形成薄膜晶體管的方法。形成多晶硅薄膜的方法包括下列步驟。首先，提供一基底。然后，進行一加熱處理。接著，進行一硅薄膜沉積工藝，用以直接在基底的上表面上形成一多晶硅薄膜。形成薄膜晶體管的方法包括下列步驟。首先，提供基底。然后，進行加熱處理。接著，進行硅薄膜沉積工藝，用以直接在基底的上表面上形成多晶硅薄膜。然后，對多晶硅薄膜進行一第一圖案化工藝，用以形成一半導(dǎo)體圖案。之后，形成一柵極電極、一柵極介電層、一源極電極以及一...
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