技術(shù)編號：7256171
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種提高鍺材料N型摻雜載流子濃度的方法及其應(yīng)用。該提高鍺材料N型摻雜載流子濃度的方法，包括如下步驟提供鍺襯底、采用離子注入法在所述鍺襯底中注入N型雜質(zhì)離子、對鍺襯底進(jìn)行退火處理、重復(fù)進(jìn)行在鍺襯底中注入N型雜質(zhì)離子和退火處理的步驟。該提高鍺材料N型摻雜載流子濃度的方法通過對鍺襯底進(jìn)行離子注入/退火處理的循環(huán)工藝可以有效控制并降低鍺材料的缺陷密度，防止摻雜離子的擴(kuò)散，使得摻雜離子的激活率高，可以完全被激活，提高摻雜載流子濃度。因此，該提高鍺材料N型...
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