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技術(shù)編號：7255435

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本發(fā)明涉及基板處理裝置。更具體而言，涉及一種僅在必須使用基板托架的工序中使用基板托架，從而能夠提高基板處理工藝效率的基板處理裝置。背景技術(shù)用于制造太陽能電池或液晶顯示器的裝置，大體上有蒸鍍裝置和熱處理裝置。蒸鍍裝置是用于形成構(gòu)成太陽能電池或液晶顯示器的半導(dǎo)體層的裝置，包括如LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition 低壓化學氣相淀積)或 PECVD (PlasmaEnhanced Chemical Vapor...
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