技術(shù)編號：7255100
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種溝槽半導(dǎo)體裝置，當(dāng)半導(dǎo)體裝置接一定的反向偏壓時，在溝槽內(nèi)壁半導(dǎo)體結(jié)產(chǎn)生的耗盡層相互交疊，屏蔽了陽極到陰極的導(dǎo)電通道，使得本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置具有反向阻斷功能；通過在半導(dǎo)體裝置溝槽底部設(shè)置具有電荷補償功能的材料，提高半導(dǎo)體裝置反向阻斷能力；當(dāng)半導(dǎo)體裝置接一定的正向偏壓，因從陽極到陰極不存在半導(dǎo)體結(jié)，本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置具有極低的正向開啟壓降。本發(fā)明還提供了一種溝槽半導(dǎo)體裝置的制備方法。專利說明[0001]本發(fā)明涉及到一種溝槽半導(dǎo)體裝置，本發(fā)明還涉...
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