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雙層轉移方法技術資料下載

技術編號:7252616

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一種轉移層(1)的方法,包括a)提供以結合能E0與初始基板(4)整體接合的層(1);b)根據中間結合能Ei,使所述層(1)的正面(8)結合到中間基板(5);c)從所述層(1)分離所述初始基板(4);e)根據最終結合能Ef,使背面(9)結合至最終基板(11);以及f)從所述層(1)剝離所述中間基板(5)以將所述層(1)轉移到所述最終基板(11);步驟b)包括形成硅氧烷鍵Si-O-Si的步驟,在第一無水環(huán)境中進行步驟c)并且在第二潮濕環(huán)境中進行步驟f),使得所...
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