技術(shù)編號：7249643
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明是提供一種適用于半導(dǎo)體金屬布線工藝的。半導(dǎo)體制造裝置，包括承載室；和至少一個以上的處理室；和傳送室；及抗氧化氣體供應(yīng)部。處理室接收基板后進行熱處理（annealing）工藝。傳送室是在承載室與處理室之間傳送基板?？寡趸瘹怏w供應(yīng)部是至少向傳送室與承載室中一方供應(yīng)抗氧化氣體。專利說明[0001]本發(fā)明涉及一種，更詳細的說是可應(yīng)用在半導(dǎo)體金屬 布線工藝的。背景技術(shù)[0002]在現(xiàn)有的半導(dǎo)體金屬布線工藝中雖使用價格更為便宜特性好的鋁，但為了獲得更 快的半導(dǎo)體...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。