技術(shù)編號：7249453
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種用于在兩個晶片（2，3）的連接面V處鍵合所述兩個晶片（2，3）的裝置，其中設(shè)置具有壓力面（D）的壓力傳輸裝置，所述壓力面D用于以壓力面（D）處的鍵合壓力來加載晶片（2，3），其特征在于，所述壓力面D比所述連接面V更小。此外，本發(fā)明涉及一種用于在兩個晶片（2，3）的連接面（V）處鍵合所述兩個晶片（2，3）的方法，其中通過具有用于對晶片（2，3）加載的壓力面（D）的壓力傳輸裝置（1）相繼在所述連接面（V）的子片段上施加鍵合力。專利說明用于鍵合兩個...
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