技術(shù)編號：7248114
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供了用于工具狀態(tài)監(jiān)控的各種方法，本發(fā)明還包括用于實現(xiàn)這種監(jiān)控的系統(tǒng)。一種示例性方法包括接收與由集成電路制造工藝工具對晶圓實施工藝相關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)；以及使用數(shù)據(jù)監(jiān)控集成電路制造工藝工具的狀態(tài)。監(jiān)控包括基于異常識別標(biāo)準(zhǔn)、異常過濾標(biāo)準(zhǔn)以及異常閾值評估數(shù)據(jù)以確定數(shù)據(jù)是否滿足警報閾值。方法進(jìn)一步包括當(dāng)數(shù)據(jù)滿足警報閾值時發(fā)布警報。本發(fā)明還提供了。專利說明[0001]本發(fā)明一般地涉及半導(dǎo)體，更具體地來說，涉及工具狀態(tài)監(jiān)控方法及其系統(tǒng)。背景技術(shù)[0002]通過用一系列...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。