技術(shù)編號(hào)：7247922
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種靜電卡盤(pán)，包括用于承載被加工工件的卡盤(pán)和基座，在所述卡盤(pán)和基座之間設(shè)置有隔熱組件，所述隔熱組件包括上環(huán)板、下環(huán)板和膨脹隔熱環(huán)，其中，所述上環(huán)板和所述下環(huán)板為閉合的環(huán)形結(jié)構(gòu)件，并且二者相對(duì)設(shè)置；所述膨脹隔熱環(huán)為閉合的環(huán)形薄壁結(jié)構(gòu)件，其設(shè)置在所述上環(huán)板和下環(huán)板之間，并且所述膨脹隔熱環(huán)的兩個(gè)端部分別與所述上環(huán)板和所述下環(huán)板密封固定。上述靜電卡盤(pán)不僅具有良好的隔熱效果，而且加熱均勻，從而提高了等離子體加工設(shè)備的加熱效率和加熱均勻性。此外，上述靜電卡盤(pán)...
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