技術(shù)編號：7245421
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明總體上涉及半導(dǎo)體器件，具體地，涉及晶體管器件。背景技術(shù)在半導(dǎo)體處理技術(shù)中，借助結(jié)合了選擇性蝕刻處理的光刻法來對相對于晶片表面是水平的平面襯底表面進(jìn)行構(gòu)圖。在集成電路的處理中，在晶片或襯底表面上形成具有顯著形貌的起伏。通常，這類起伏包括相對于襯底表面傾斜或垂直的表面。隨著集成電路的尺寸不斷縮小，越來越有必要形成垂直或傾斜的器件表面，以便在其垂直范圍上從功能上區(qū)分這些器件，同時仍保持圖案對準(zhǔn)。這些類型的半導(dǎo)體器件的示例包括深溝式電容器、疊層電容器和垂直晶...
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