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載鎖腔及使用該載鎖腔處理基板的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7244521

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本發(fā)明公開(kāi)了一種載鎖腔,包括腔室,所述腔室具有第一真空閥門(mén)和第二真空閥門(mén);夾盤(pán),所述夾盤(pán)具有收容于所述腔室的夾座,所述夾座用于放置基板,所述夾座的外邊緣設(shè)有至少兩個(gè)凹槽;支撐架,所述支撐架收容于所述腔室并位于所述夾座的上方,所述支撐架具有至少兩個(gè)連接部,每個(gè)連接部向所述支撐架的軸心方向水平凸伸出數(shù)個(gè)支撐臺(tái),每一支撐臺(tái)具有一承載部,所述承載部位于所述夾座的凹槽內(nèi),各連接部上同一層的承載部與所述夾座平行并能托住一片基板;及至少一升降機(jī)構(gòu),用于升高或降低所述支撐...
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