技術編號：7242979
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明公開了。本發(fā)明在玻璃或者塑料的襯底上制備薄膜晶體管，采用摻鋁的氧化鋅半導體材料作為透明半導體導電的溝道層，在制備過程中采用獨特工藝加入適量的氧氣使摻鋁的氧化鋅呈現(xiàn)出半導體特性，并且顯示出高遷移特性，有效的提高了薄膜晶體管的性能。本發(fā)明的制備方法步驟簡單，制備成本低，對提高薄膜晶體管器件的性能具有積極效果，改善了器件性能，降低了制備成本。同時，氧化鋅鋁薄膜是環(huán)保材料，工藝簡單，制備成本低，具有廣泛的應用前景。專利說明[0001]本發(fā)明屬于平板顯示領域，...
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