技術(shù)編號：7242385
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請涉及一種等離子體約束環(huán)組件及其上部環(huán)、吊架組件、下部環(huán)和中部環(huán)，其中一種具有單個能移動的下部環(huán)的等離子體約束環(huán)組件，其可用于控制電容耦合等離子體反應(yīng)室中的晶片區(qū)域壓強(qiáng)，晶片被支承在下電極組件上且處理氣體通過上部噴頭電極組件被引入所述室。該組件包括上部環(huán)、下部環(huán)、吊架、吊架帽、間隔套筒和墊片。當(dāng)在上電極和下電極之間的間隙調(diào)節(jié)過程中所述墊片與所述下電極組件進(jìn)行接觸時，所述下部環(huán)由所述吊架支撐并朝著所述上部環(huán)能移動。所述吊架帽嚙合所述吊架的上端并配合入所述...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。