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每個(gè)平臺(tái)研磨站的多載具頭中的研磨制程的調(diào)節(jié)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7242003

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本發(fā)明的實(shí)施例大體系關(guān)于研磨一基板(例如一半導(dǎo)體基板)。更具體而言,實(shí)施例系關(guān)于對(duì)每個(gè)平臺(tái)研磨站的多載具頭中一基板的研磨制程進(jìn)行調(diào)節(jié)。背景技術(shù)化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)是高密度積體電路制造中常用的ー種制程,該制程用以平面化或研磨沉積在基板上的一材料層?;逑当惶峁┲烈谎心フ厩夜潭ㄓ讴`載具頭中,載具頭系可控制地將基板推抵固定在一平臺(tái)上的移動(dòng)研磨墊片。在存在研磨流體時(shí),藉由提供接觸于基板的一特征側(cè)之間以及相對(duì)于該研磨墊片移動(dòng)基板,系可有效應(yīng)用CMP。透過(guò)化學(xué)與機(jī)械...
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