技術(shù)編號(hào)：7241770
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提出了一種在玻璃上制備具有微特征的微器件的方法。該方法包括以下步驟預(yù)設(shè)第一玻璃基板，并在所述第一玻璃基板上制備金屬圖案，預(yù)設(shè)第二玻璃基板并在所述第二玻璃基板上設(shè)一個(gè)或多個(gè)通孔，在可控的升溫中加熱所述第一玻璃基板和所述第二玻璃基板，通過(guò)加壓的方式鍵合所述第一玻璃基板和所述第二玻璃基板，以形成一個(gè)鍵合基板，其中，所述金屬圖案嵌于所述鍵合基板內(nèi)，在可控的降溫中冷卻所述鍵合基板，然后將所述鍵合基板保持在一個(gè)適宜蝕刻的溫度，蝕刻所述鍵合基板內(nèi)的金屬圖案，其中，...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。