技術(shù)編號：7241760
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。提供一種可降低柵泄漏電流的。在時(shí)刻t0將基板產(chǎn)物配置到生長爐后，將基板溫度上升到攝氏950度。在基板溫度充分穩(wěn)定的時(shí)刻t3，將三甲基鎵及氨提供到生長爐，生長i-GaN膜。在時(shí)刻t5，基板溫度達(dá)到攝氏1080度。在基板溫度充分穩(wěn)定的時(shí)刻t6，將三甲基鎵、三甲基鋁及氨提供到生長爐，生長i-AlGaN膜。在時(shí)刻t7，停止三甲基鎵及三甲基鋁的供給并停止成膜后，迅速停止對生長爐提供氨及氫，并且開始氮的供給，在生長爐的爐膛中，將氨及氫的氣氛變更為氮的氣氛。形成了氮的氣...
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