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包括低溫多晶硅薄膜晶體管的影像顯示系統(tǒng)及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7237475

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本發(fā)明涉及一種影像顯示系統(tǒng)及其制造方法,且特別有關(guān)于一種低溫多 晶硅薄膜晶體管液晶顯示器及其制造方法。背景技術(shù)在傳統(tǒng)低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示器工藝中, 一般會(huì)對(duì)開關(guān)元件進(jìn)行高壓退火(high pressure anneal)工藝以提升元件特性均一性。然而,目前 元件在經(jīng)過高壓退火工藝之后,P型薄膜晶體管元件會(huì)遭受所謂"臨界電壓 偏移(threshold voltage shift)"的問題(如圖3B所示)。同時(shí),N型薄膜 晶體管元件會(huì)無(wú)法正常關(guān)閉,如圖...
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