技術(shù)編號：7237406
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種，且特別涉及一種使用三道光掩 模工藝完成的。背景技術(shù)隨著平面顯示器產(chǎn)業(yè)技術(shù)的演進，面板制造業(yè)者也紛紛尋求新的制造技 術(shù)來降低制造成本，以開創(chuàng)出更大的需求市場。其中，面板中用以控制的薄 膜晶體管基板是影響面板品質(zhì)的關(guān)鍵組件。因此，如何在兼顧成品元件的品 質(zhì)前提下，改變工藝以降低生產(chǎn)成本，便成為各家廠商積極開發(fā)的重點。傳統(tǒng)上一片薄膜晶體管基板大約需要五道或四道的光掩模工藝。但是每 一道光掩模工藝都必須經(jīng)過沉積源材料、形成光致抗蝕劑、曝光、顯影、蝕...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。