技術(shù)編號：7236087
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種制造氮化物半導(dǎo)體發(fā)光裝置的方法，更具體 地，涉及一種制造氮化物半導(dǎo)體發(fā)光裝置的方法，該方法使得在從 發(fā)光結(jié)構(gòu)上移除襯底的過程中對發(fā)光結(jié)構(gòu)的變形和熱損害最小化， 從而提高光提取效率，并且本發(fā)明還涉及一種通過該方法制造的氮 化物半導(dǎo)體發(fā)光裝置。背景技術(shù)通常，構(gòu)成III族氮化物半導(dǎo)體發(fā)光裝置的氮化物單晶被形成 在用于單晶生長的特定襯底上，諸如藍(lán)寶石或SiC襯底。然而，使 用絕緣襯底(諸如藍(lán)寶石襯底)非常限制電極的布置。即，在傳統(tǒng) 的氮化物半導(dǎo)體發(fā)光...
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