技術(shù)編號(hào)：7235767
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種，尤指一種可以提高柵極耦合值 的快閃存儲(chǔ)器制作方法。背景技術(shù)快閃存儲(chǔ)器具有可重復(fù)抹除與讀寫的特性，加上傳輸快速、低耗電，所 以應(yīng)用層面非常廣泛，已成為許多信息、通訊及消費(fèi)性電子產(chǎn)品中的必要元 件。為了提供輕巧及高品質(zhì)的電子元件產(chǎn)品，提升快閃存儲(chǔ)器的元件集成度 與品質(zhì)便成為當(dāng)前信息產(chǎn)業(yè)與存儲(chǔ)器制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。一般而言，在快閃存儲(chǔ)器的結(jié)構(gòu)中，利用絕緣淺溝槽結(jié)構(gòu)來隔離各存儲(chǔ) 單元元件，以隔絕快閃存儲(chǔ)器中相鄰存儲(chǔ)單元元件。然而，由于快閃存儲(chǔ)器 中存...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。