技術編號：7235457
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及對被處理體照射脈沖激光以進行激光退火的激光退火處理裝置、激光退火處理體的制造方法及激光退火處理程序。背景技術在液晶顯示器或有機EL (電致發(fā)光(Electro-Luminescence))顯示器的像素開關或驅動電路中使用的薄膜晶體管中，執(zhí)行利用激光的激光退火作為低溫工藝的制造方法的一個環(huán)節(jié)。該方法通過對基板上成膜后的非單晶半導體膜照射激光來進行局部加熱熔融， 然后在其冷卻過程中使半導體薄膜晶化為多晶或單晶。由于晶化后的半導體薄膜的載流子的移動度較...
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