技術(shù)編號(hào)：7235060
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于使由含有純水的沖洗液進(jìn)行了沖洗處理后的基板 干燥的。成為待處理對(duì)象的基板例如包含半導(dǎo)體晶片、液晶顯示裝置用基板、等離子體顯示器用基板、FED (Field Emission Display場致發(fā)射顯示器)用基板、光盤用基板、磁盤用基板、光磁盤用基 板、光掩模用基板等。背景技術(shù)在半導(dǎo)體裝置和液晶顯示裝置的制造工序中，有時(shí)使用對(duì)半導(dǎo)體晶片或 液晶顯示面板用玻璃基板等基板的表面逐個(gè)地實(shí)施使用處理液(藥液或純水 等沖洗液)的處理的單張式基板處理裝...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。