技術(shù)編號：7235045
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種電觸點(diǎn)材料，更具體而言，本發(fā)明涉及一種用于低壓力致 動器的觸點(diǎn)材料。本發(fā)明還涉及一種用于制造觸點(diǎn)材料的方法。技術(shù)背景隨著近來在電子器fHtM化方面的進(jìn)展，迫切需要具有較小的幾何尺寸、io育,實現(xiàn)微秒開關(guān)定時且具有低功耗的微動開關(guān)。微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)開關(guān) 是適合此類應(yīng)用的理想開關(guān)，這是因為MEMS開關(guān)幾何尺寸小、開關(guān)質(zhì)量和 動量最小，適用于低功耗，并且有可冑狹用標(biāo)準(zhǔn)MEMS和半導(dǎo)體制造技術(shù)進(jìn) 行生產(chǎn)。MEMS開關(guān)的主要性能標(biāo)準(zhǔn)在于低接觸電阻...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。