技術(shù)編號(hào)：7234091
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種吹掃氣體單元以及吹掃氣體供應(yīng)集成單元，該吹 掃氣體單元以及吹掃氣體供應(yīng)集成單元布置成通過(guò)使用流量傳感器對(duì) 將要供應(yīng)到過(guò)程氣體單元的吹掃氣體的流量進(jìn)行測(cè)量，并基于測(cè)量結(jié) 果對(duì)開/關(guān)控制閥進(jìn)行反饋控制。背景技術(shù)例如， 一些半導(dǎo)體制造處理包括腔室內(nèi)的連續(xù)處理，例如，在基 片上的連續(xù)沉積處理以及在腔室內(nèi)的清洗處理，所述處理是通過(guò)有選 擇地使得連接到所述腔室上的多個(gè)過(guò)程氣體單元與所述腔室連通而進(jìn)行的。例如在WO 02/93053中公開了這一技術(shù)。在該情...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。