技術(shù)編號(hào)：7233416
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件。更具體而言，本發(fā)明涉及一種用 于在半導(dǎo)體器件中形成精細(xì)圖案的方法。背景技術(shù)半導(dǎo)體器件的集成度取決于該半導(dǎo)體器件中所能構(gòu)造的圖案的 精細(xì)度。為了增加存儲(chǔ)芯片的容量，需要增大存儲(chǔ)芯片的尺寸。然而， 其上形成有精細(xì)圖案的存儲(chǔ)芯片的單元區(qū)域的尺寸實(shí)際是在減小。由 于更多的圖案將要形成于有限的單元區(qū)域中以確保想要的存儲(chǔ)容量， 所以需要構(gòu)造精細(xì)圖案，使得精細(xì)圖案的寬度小于臨界尺寸。于是， 期望發(fā)展出一種用于形成這種精細(xì)圖案的光刻工序。為了通過...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。