技術(shù)編號：7233005
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種光刻設(shè)備，以及使用這種光刻設(shè)備的器件制造方 法。本發(fā)明還涉及一種用在光刻設(shè)備中的輻射傳感器、包括這種輻射傳 感器的光刻設(shè)備、以及使用這種光刻設(shè)備的器件制作方法。本發(fā)明還涉 及一種制作輻射傳感器的方法。背景技術(shù)光刻設(shè)備是一種將所需圖案應(yīng)用到襯底上(通常到所述襯底的目標部分上)的機器。例如，可以將光刻設(shè)備用在集成電路(IC)的制造中。 在這種情況下，可以將可選地稱為掩?；蜓谀ぐ?recticle)圖案化器件 用于在所述IC的單層上產(chǎn)生待形成的電路...
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