技術(shù)編號：7232484
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及通過對作為對半導(dǎo)體基板進(jìn)行熱處理的熱處理裝置的構(gòu)成部件的石英制品進(jìn)行烘焙，將石英制品中包含的金屬除去的技術(shù)。背景技術(shù) 作為在半導(dǎo)體制造工藝中使用的熱處理裝置之一，有作為間歇式熱處理裝置的縱型熱處理裝置。該縱型熱處理裝置包括加熱爐，該加熱爐具有下方開口的縱型的反應(yīng)管和以包圍該反應(yīng)管的外側(cè)的方式設(shè)置的加熱器。將多塊半導(dǎo)體晶片(以下稱為晶片)呈架狀保持在被稱為晶舟(wafer boat)的晶片保持件中，從反應(yīng)管的下方側(cè)搬入，在反應(yīng)管內(nèi)進(jìn)行氧化處理、擴(kuò)散...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。