技術(shù)編號(hào):7232318
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種薄膜晶體管及其制造方法,特別涉及形成薄膜晶體管需要的絕緣膜材料及晶體管的制造方法。人們已開(kāi)發(fā)出薄膜晶體管(此后稱為TFT),其有源層由結(jié)晶半導(dǎo)體膜構(gòu)成,結(jié)晶半導(dǎo)體膜利用例如激光退火或熱退火法,由形成于如玻璃等具有透光性的絕緣基片上的非晶半導(dǎo)體膜結(jié)晶而成。主要用于TFT制造的基片有例如鋇硼硅玻璃或鋁硼硅玻璃等玻璃基片。與石英基片相比,這類玻璃基片具有較差的耐熱性,但它們的優(yōu)點(diǎn)在于低市場(chǎng)價(jià)格和容易制造大表面積基片的事實(shí)。就柵極的設(shè)置而言,TFT的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。