技術(shù)編號(hào)：7230820
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件，以及更具體而言，涉及一種具有凹 陷柵極的半導(dǎo)體器件及一種制造該半導(dǎo)體器件的方法。 背景技術(shù)最近，隨著半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件的高度集成，器件的尺寸縮小及圖案 變得較細(xì)。由于器件的尺寸變得較小，因此柵極溝道長度亦減少，以 致于信息的操作速度或輸入\輸出速率因短溝道效應(yīng)、熱載流子效應(yīng)等 所造成的漏電流而變得較慢。為了防止此現(xiàn)象，已提出用以確保溝道長度的各種構(gòu)造的凹陷柵 極。其中，球形凹陷柵極在近年來已被實(shí)際使用且被積極地研究，因 為它具有可有效...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。