技術(shù)編號：7230234
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。制造具有FINFET的半導(dǎo)體器件的方法相關(guān)申請本申請要求享有于2006年9月29日所提出的韓國專利申請 No. 10-2006-0096463的優(yōu)先權(quán)，在此將該專利全文并入?yún)⒖肌＜夹g(shù)背景本發(fā)明一般涉及制造半導(dǎo)體器件的方法，更具體而言涉及一種用 以制造具有FinFET的半導(dǎo)體器件的方法。 因為半導(dǎo)體器件高度集成，所以二維晶體管結(jié)構(gòu)在許多方面受到 限制。具體地，二維晶體管結(jié)構(gòu)無法滿足高速半導(dǎo)體器件的電流驅(qū)動 能力的需求。要解決這些局限，已經(jīng)提出一種鰭式場效晶體...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。