技術(shù)編號：7229786
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種中大功率半導(dǎo)體器件，尤其涉及中大功率半導(dǎo)體器件壓點的金屬連線結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)中大功率半導(dǎo)體器件的工作電流比較大、功率比較大、耐壓比較高，中大功率半導(dǎo)體器件的壓點的區(qū)域往往是整個器件中發(fā)熱量最大的部位，壓點的位置的電流密度也是整個器件中最大的，出現(xiàn)電遷移的概率最高，電遷移是半導(dǎo)體器件制造工藝中最重要的一個失效機制。由于中大功率半導(dǎo)體器件的壓點區(qū)域的電流密度較大，因此，中大功率半導(dǎo)體器件的壓點區(qū)域的金屬連線厚度也比較大(通常在2. 5 5微米)...
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