技術(shù)編號：7229316
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)城本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的制造方法，特別是涉及一種增進圖案均 勻度的方法。背景技術(shù)隨著集成電路領(lǐng)域的快速發(fā)展，高效能、高積集度、低成本、輕薄短 小已成為電子產(chǎn)品設(shè)計制造上所追尋的目標(biāo)。對目前的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)而言，為 了符合上述目標(biāo)，往往需要在同 一 晶片上，制造出多種功能的元件，例如，將 唯讀記憶體、靜態(tài)隨機存取記憶體、快閃記憶體或動態(tài)隨機存取記憶體與邏輯電路、數(shù)位電路等制作在同一個晶片上，即所謂的系統(tǒng)晶片(System 0n Chip, SOC)。然...
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