技術編號：7228093
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及的是一種抗環(huán)境振動影響的旋轉式懸浮可變電容的結構，所 述的這種結構能有效抑止環(huán)境加速度對器件性能的影響。屬于射頻元件和電 路技術應用領域。背景技術隨著射頻技術的應用越來越廣泛，對于高性能可變電容的要求，使得這方面的研究越來越多。硅微機械加工技術具有一些標準CMOS制造技術所 沒有的特點，它擴展了器件設計的能力，從傳統(tǒng)的兩維器件擴展到三維器件。 隨著無線通訊領域，對信號靈敏度以及器件的功耗的要求越來越高，特別需 要一些高性能的射頻器件，如手機、衛(wèi)星...
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