技術(shù)編號：7224930
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及利用電子束的，特別涉及 一種適用于評價接觸孔等精細結(jié)構(gòu)的測量技術(shù)。背景技術(shù)接觸孔是半導體器件的一種精細結(jié)構(gòu)。該接觸孔構(gòu)成硅襯底上形成的配 線結(jié)構(gòu)的一部分，該配線結(jié)構(gòu)例如用于使晶體管與其他電氣元件電連接。用于測量接觸孔結(jié)構(gòu)的常用方法是使用電子束的方法，CDSEM作為此種裝置 -波廣為所知。根據(jù)上述CDSEM,用電子束對形成有待測量精細結(jié)構(gòu)的半導體襯底表 面進行線掃描，檢測此時產(chǎn)生的二次電子，并根據(jù)得到的波形觀'J量精細結(jié)構(gòu)。 該二次電子的波形中包含...
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