技術(shù)編號(hào)：7222467
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及極小器件的制造，該極小器件具有接近或在納米級(jí)范圍內(nèi) (小于大約1微米)的最小尺度的結(jié)構(gòu)特征。本發(fā)明特別涉及一種具有結(jié)構(gòu) 增強(qiáng)和減少的缺陷的器件， 一種制造這種器件的方法和一種實(shí)施所迷方法的機(jī)構(gòu)。背景技術(shù)納米級(jí)和接近納米級(jí)的器件對(duì)于多種應(yīng)用是重要的。這些器件包括日益 高密度的半導(dǎo)體集成電路和多種電、光、磁、機(jī)械和生物器件。這些納米器件的性能通常取決于其結(jié)構(gòu)的形狀和尺度，并且，這些器件 通常被設(shè)計(jì)為具有精確的形狀和尺度以實(shí)現(xiàn)所期望的功能。這些器件通過...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。